Платформа XYZT Gantry Motion для контроля пластин

Наша платформа XYZT Gantry Motion для контроля пластин включает в себя гранитные основания высокой жесткости, направляющие на пневмоподшипниках, линейные приводы и прецизионные оптические энкодеры для достижения точности позиционирования ± 1 мкм и повторяемости ± 0,1 мкм. Разработанные для круглосуточной работы в чистых помещениях (Класс 100/Класс 10), наши портальные столики отличаются сверхнизкой вибрацией, высоким динамическим откликом (максимальная скорость 500 мм/с) и термической стабильностью, что обеспечивает надежное обнаружение дефектов пластин и метрологию размеров на протяжении всего жизненного цикла производства.

● Специальный портальный модуль перемещения XYZT для контроля пластин, разработанный в соответствии со спецификациями вашего оборудования для контроля пластин и чертежами САПР.

● Точность позиционирования ±1 мкм с повторяемостью нанометрового уровня (±0,1 мкм) для критических измерений пластин.

● Технология воздушных подшипников, обеспечивающая движение без трения и нулевое образование частиц в чистых помещениях.

● Термостабилизированная конструкция с активным контролем температуры (±0,01°C) для сверхвысокой точности.

● Сертифицированное производство по стандарту ISO 9001:2015 с полной отслеживаемостью соответствия требованиям полупроводниковой промышленности.

Ключевые особенности и основные преимущества

Механическая конструкция высокой жесткости

Наша платформа перемещения портала XYZT для контроля пластин имеет монолитные гранитные основания (коэффициент термического расширения < 0,5 × 10⁻⁶/°C) и портальные балки из армированного углеродным волокном полимера (CFRP), обеспечивающие исключительную структурную жесткость и минимальную термическую деформацию. Симметричная конструкция портала исключает ошибку Аббе и обеспечивает равномерное распределение нагрузки по всей зоне контроля пластины.

Прецизионная система управления движением

Наши портальные платформы XYZT, оснащенные высокопроизводительными линейными двигателями (нулевой люфт, высокое ускорение) и абсолютными оптическими энкодерами (разрешение 1 нм), обеспечивают плавное и точное движение с субмикронной точностью. Усовершенствованный алгоритм сервоуправления компенсирует динамические ошибки и обеспечивает стабильность позиционирования на нанометровом уровне во время операций сканирования пластин.

Готовая к использованию в чистых помещениях конструкция

Каждый портальный столик XYZT для контроля пластин спроектирован для работы в чистых помещениях класса 100/10 с использованием компонентов, совместимых с вакуумом, герметичных линейных направляющих и материалов с низким выделением газов (в соответствии со стандартом SEMI S2-0701). Технология воздушных подшипников исключает образование частиц, а закрытая система управления кабелями предотвращает загрязнение во время высокоскоростных циклов проверки пластин.

Технические характеристики

Механические характеристики

Материал основания: черный гранит (00级)/композит из углепластика.

Система направляющих: прецизионные воздушные подшипники/линейные роликовые направляющие.

Система привода: бесщеточные линейные двигатели/серводвигатели с шариковыми винтами.

Обратная связь: абсолютные оптические энкодеры (разрешение 1 нм).

Экологические характеристики

● Рабочая температура: 20±0,5°C (активный термоконтроль).

● Рейтинг чистых помещений: класс 100 (класс 5 по ISO) / класс 10 (класс 4 по ISO).

● Виброизоляция: система активного/пассивного контроля вибрации.

● Источник питания: 200–240 В переменного тока, 50/60 Гц, 1-фазный/3-фазный.

Приложения

● Высокоскоростное сканирование пластин диаметром 200/300/450 мм на наличие дефектов частиц и рисунка.

● Позиционирование на нанометровом уровне для оптических/микроскопических систем обнаружения дефектов.

● Динамическая компенсация плоскостности при проверке искривленных пластин.

● Интеграция с инструментами лазерного сканирования и электронной микроскопии.

Метрология пластин

Размерная метрология пластин

● Прецизионное измерение толщины пластины, параметров изгиба и основы.

● Выравнивание на субмикроном уровне для наложенных метрологических систем.

● Термически стабилизированное позиционирование для чувствительных к температуре измерений.

● Автоматизированная поточная метрология для процессов изготовления пластин.

Обработка пластин

Обработка и обработка пластин

● Высокоточное выравнивание для процессов литографии и травления пластин.

● Системы обработки и транспортировки пластин, совместимые с чистыми помещениями.

● Динамическое позиционирование для операций лазерной резки и утонения пластин.

● Интеграция с роботизированными системами обработки пластин и автоматизации.