Тестирование пластин

Основанный на более чем 15-летнем опыте Deaote в производстве прецизионных пресс-форм и компонентов движущихся частей, испытательный стенд имеет твердое гранитное основание, термостабилизированную конструкцию и антивибрационную конструкцию, обеспечивающие стабильную работу в чистых помещениях (класс 100/1000). Он поддерживает бесшовную интеграцию с датчиками пластин, оптическими микроскопами, системами ATE (автоматическое испытательное оборудование) и инструментами сбора данных, что делает его идеальным как для исследований и разработок, так и для крупносерийного производственного тестирования логических микросхем, устройств памяти, силовых полупроводников и составных полупроводников (GaAs, SiC, GaN).

Модульная конструкция системы тестирования пластин позволяет полностью настраивать диапазоны перемещения, параметры скорости/ускорения и интерфейсы управления (GPIB, USB, Ethernet) в соответствии с конкретными рабочими процессами тестирования пластин. Наше решение позволяет производителям полупроводников добиться более высокой точности тестирования, снизить частоту ложных отказов и повысить производительность, что крайне важно для удовлетворения требований миниатюризации и производительности полупроводниковых устройств следующего поколения.

Основные преимущества

1. Субмикронная точность выравнивания по 4 осям.

Оснащенная линейными энкодерами высокого разрешения (разрешение 0,05 мкм) и моментными двигателями с прямым приводом для оси Theta, платформа обеспечивает точность повторного позиционирования ±0,5 мкм (X/Y), абсолютную точность ±1 мкм (X/Y), точность позиционирования по оси Z ±2 мкм и угловую точность оси Theta 0,001°. Это обеспечивает точное выравнивание между кристаллами пластин и испытательными датчиками/проверочной оптикой, исключая ошибки, вызванные несоосностью, при определении электрических характеристик и оптическом контроле.

2. Высокоскоростное и стабильное управление движением

Оптимизированные алгоритмы управления движением и воздушные направляющие обеспечивают высокоскоростное движение (максимальная скорость по осям X/Y: 150 мм/с, максимальная скорость по оси Z: 50 мм/с) со сверхмалым временем стабилизации (<30 мс для X/Y, <50 мс для Z). Бесконтактный приводной механизм исключает механический износ и люфт, обеспечивая постоянную стабильность движения на протяжении миллионов циклов, что важно для высокопроизводительного тестирования пластин (до 2500 штампов в час).

3. Термически стабильная и антивибрационная конструкция.

Платформа, построенная на основе натурального гранита (коэффициент термического расширения ≤0,5×10⁻⁶/℃) и активной системе антивибрационной изоляции, минимизирует позиционный дрейф, вызванный колебаниями температуры (≤0,1 мкм/℃) и внешними вибрациями. Ось Z оснащена прецизионным шарико-винтовым приводом с компенсацией предварительной нагрузки для поддержания стабильности во время вертикального позиционирования, что критически важно для контроля силы контакта зонда (от 0,1 г до 100 г) при тестировании пластин.

4. Широкая совместимость и гибкость пластин.

Тестирование пластин поддерживает размеры пластин от 4 до 12 дюймов с регулируемыми вакуумными патронами и механизмами автоцентрирования, без необходимости замены специального приспособления. Он поддерживает пластины толщиной от 50 до 800 мкм и совместим с голыми пластинами, узорчатыми пластинами и корпусами уровня пластин (WLP), адаптируясь к различным потребностям в тестировании полупроводников (параметрическое тестирование постоянным током, радиочастотное тестирование, оптический контроль).

5. Совместимость с чистыми помещениями и низкие эксплуатационные расходы.

Разработанный для работы в чистых помещениях класса 100, прибор для тестирования пластин имеет герметичный корпус с фильтром HEPA для предотвращения загрязнения пластин и испытательного оборудования частицами. Степень защиты IP54 и не требующие смазки компоненты на воздушных подшипниках снижают требования к техническому обслуживанию, увеличивая среднее время безотказной работы (MTBF) до ≥35 000 часов при стандартных условиях эксплуатации.

6. Простая интеграция и настройка

Совместимая со стандартным управляющим программным обеспечением и протоколами связи (GPIB, RS232, Ethernet/IP), платформа легко интегрируется с существующими системами тестирования пластин. Suzhou Deoute предлагает полную настройку диапазонов перемещения (X/Y: от 100×100 мм до 300×300 мм; Z: от 50 мм до 150 мм), диапазон вращения оси Тета (от ±5° до ±10°) и контроль температуры патрона (от -40℃ до 200℃) для удовлетворения уникальных требований клиентов.

Технические характеристики

Сценарии применения

Наша платформа XYZT, разработанная для 4-осевого тестирования и контроля пластин, широко используется в следующих полупроводниковых приложениях:

● Исследование пластин: определение электрических характеристик (постоянный/переменный/RF) логических микросхем, устройств памяти DRAM/NAND и силовых полупроводников (MOSFET, IGBT).

● Оптический контроль: обнаружение дефектов на уровне пластин, выравнивание структуры и метрология для передового производства полупроводников.

● Испытание надежности: циклическое переключение при высоких/низких температурах, испытания на приработку и определение характеристик срока службы составных полупроводников (GaAs, SiC, GaN).

● Упаковка на уровне пластины (WLP): выравнивание и склеивание корпусов на уровне пластины для бытовой электроники и автомобильной промышленности.

● Испытание НИОКР: создание прототипов и проверка новых полупроводниковых конструкций в лабораторных условиях (с возможностью настройки для испытаний небольшими партиями).

О Деаоте

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. — ведущее высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на исследованиях и разработках, производстве и продаже платформ прецизионного перемещения, нестандартных форм и компонентов для тестирования полупроводников. Обладая более чем 15-летним опытом в области точного производства, мы обслуживаем клиентов по всему миру в секторах полупроводников, электроники и промышленной автоматизации в Европе, Северной Америке, Азии и за ее пределами.

Наша платформа для инспекционного движения XYZT использует наши основные компетенции в области прецизионного проектирования пресс-форм и проектирования управления движением для решения уникальных задач тестирования полупроводниковых пластин. Мы предоставляем комплексные решения — от разработки индивидуальной платформы и прототипирования до установки на месте, калибровки и технической поддержки на протяжении всего срока службы — гарантируя, что наши продукты соответствуют самым строгим отраслевым стандартам точности и надежности.

Придерживаясь принципа «Точность способствует прогрессу, инновации создают ценность», Deaote сертифицирована по стандарту ISO 9001:2015 и инвестирует 15% годового дохода в исследования и разработки для разработки решений движения следующего поколения для полупроводниковой промышленности. Наша глобальная сервисная сеть обеспечивает быстрое реагирование и местную поддержку для наших международных клиентов.