Двухосевой мраморный модуль линейного двигателя

Этот двухосный мраморный модуль линейного двигателя, построенный на гранитном основании класса 00 (выбранном из-за низкого коэффициента теплового расширения и свойств гашения вибрации), объединяет две высокопроизводительные оси линейного двигателя с воздушными направляющими, обеспечивающие точность повторения ±0,5 мкм, что идеально подходит для полупроводниковой литографии, лазерной микрообработки, оптического контроля и прецизионных метрологических систем.

Разработанный с учетом ограничений двухосных ступеней на основе алюминия или стали (тепловой дрейф, вибрация, низкая жесткость), наш двухосный модуль линейного двигателя из мрамора исключает механическую деформацию при высокоскоростном движении (до 2 м/с на ось) и поддерживает постоянную точность при рабочих температурах (от -10 ℃ до 40 ℃). Система синхронного управления по осям X-Y (на базе EtherCAT) обеспечивает синхронизацию движения на нанометровом уровне, что критически важно для сверхточных процессов, таких как упаковка 7-нм чипов, производство микрооптических компонентов и расширенные трехмерные измерения.

Двухосевой мраморный линейный двигатель, изготовленный в соответствии со стандартами оптического качества ISO 9001:2015 и ISO 10110, оснащен герметичной системой прокладки кабелей, антистатическим покрытием и опциями, совместимыми с вакуумом (для использования в чистых помещениях с полупроводниками). Совместимый с ведущими в отрасли контроллерами движения (Aerotech, PI, Newport) и метрологическими системами (лазерными интерферометрами Renishaw), он легко интегрируется в сверхточные производственные линии, повышая производительность процесса до 20 % по сравнению с обычными двухосными столиками на металлической основе.

Серия продуктов

Серия DT-GM-DX1 (компактная точность)

Диапазон перемещения по осям XY: от 100×100 мм до 500×500 мм, точность повторения ±0,5 мкм, максимальная скорость на ось 1 м/с. Идеально подходит для обработки микрооптических компонентов, прецизионной метрологии, изготовления полупроводниковых корпусов малого формата.

Серия DT-GM-DX2 (среднемагистральный высокоскоростной)

Диапазон перемещения по осям XY: от 500×500 мм до 1000×1000 мм, точность повторения ±1 мкм, максимальная скорость на ось 2 м/с. Подходит для лазерной микрообработки, ремонта ЖК-панелей, оптического контроля среднего формата.

Серия DT-GM-DX-VAC (совместимость с вакуумом)

Диапазон перемещения по осям X-Y: от 100×100 мм до 800×800 мм, точность повторения ±0,5 мкм, номинальный вакуум 10⁻⁶ мбар. Предназначен для применения в чистых помещениях с полупроводниками, вакуумного нанесения покрытий и систем космического моделирования.

Основные преимущества

1. Гранитное основание класса 00 для непревзойденной устойчивости.

Основание, изготовленное из натурального гранита класса 00 (коэффициент термического расширения ≤0,5×10⁻⁶/℃), обеспечивает исключительную термическую стабильность (≤0,001 мм/℃) и гашение вибраций (ослабляет 80 % высокочастотных вибраций). Это устраняет тепловой дрейф и механический резонанс — распространенные проблемы металлических столиков — в сверхточных производственных процессах.

2. Субмикронная точность с воздушными направляющими.

Встроенные линейные направляющие на пневмоподшипниках (вместо традиционных шарикоподшипников) устраняют трение и износ, обеспечивая повторяемость позиционирования ±0,5 мкм и разрешение 1 нм (с помощью абсолютных энкодеров Renishaw). Бесконтактная конструкция обеспечивает работу без технического обслуживания в течение более 100 миллионов циклов, что критически важно для крупносерийного сверхточного производства.

3. Управление синхронным движением по осям X-Y

Управление движением в реальном времени на базе EtherCAT обеспечивает синхронизацию на нанометровом уровне между осями X и Y (погрешность синхронизации ≤50 нм), поддерживая сложные профили движения (круговая интерполяция, спиральное сканирование), необходимые для лазерной микрообработки и создания оптических рисунков. Открытая архитектура совместима со сторонним программным обеспечением для управления движением (LabVIEW, MATLAB).

4. Высокая жесткость и низкая деформация.

Усиленная гранитная конструкция со встроенными ребрами обеспечивает жесткость ≥300 Н/мкм, сводя к минимуму прогиб при динамических нагрузках (до 50 кг на ось). Эта стабильность обеспечивает постоянную точность даже при высокоскоростном ускорении (1g), уменьшая отклонения процесса и повышая выход продукта.

5. Возможность настройки для сверхточных приложений.

Полная настройка диапазона перемещения (от 100×100 мм до 1000×1000 мм), разрешения энкодера (от 1 нм до 1 мкм), совместимости с вакуумом (от 10⁻³ до 10⁻⁶ мбар) и качества поверхности (Ra ≤0,02 мкм). Дополнительные функции включают антистатическое покрытие, материалы, совместимые с чистыми помещениями, и встроенную лазерную интерферометрию для калибровки на месте.

6. Надежность промышленного уровня для использования в чистых помещениях

Степень защиты IP67 (стандарт) / IP68 (вакуумная версия), антистатическое покрытие (10–10⁹ Ом/кв. м) и низкий уровень выбросов частиц (соответствие чистым помещениям класса 1) делают его подходящим для чистых помещений на заводах по производству полупроводников и в оптических производствах. Среднее время безотказной работы ≥40 000 часов при непрерывной работе, что снижает совокупную стоимость владения (TCO) на 30 % за 5 лет.

Технические характеристики

Гранитное основание (класс 00) ± 0,5 мкм. Точность повторного позиционирования. Синхронное движение по осям X-Y. Термическая стабильность (≤0,001 мм/℃). Высокая жесткость (≥300 Н/мкм).

Сценарии применения

Двухосные мраморные линейные двигатели Deaote разработаны для сверхточного производства в высокотехнологичных секторах по всему миру:

● Полупроводники и микроэлектроника: упаковка чипов 7/5 нм, проверка пластин, выравнивание литографии, изготовление устройств MEMS.

● Оптическое производство: обработка микрооптических компонентов (линз, призм), сборка оптоволоконных матриц, лазерное нанесение рисунков на стеклянные подложки.

● Прецизионная метрология: 3D-оптические измерения, этапы движения координатно-измерительной машины (КИМ), профилирование поверхности на нанометровом уровне.

● Лазерная микрообработка: лазерная абляция, микросверление, прецизионная гравировка твердых материалов (кремний, сапфир, керамика).

● Аэрокосмическая и оборонная промышленность: производство микросенсоров, калибровка компонентов инерциальной навигации, сборка спутниковых оптических систем.

О Деаоте

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. — ведущее высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на исследованиях и разработках, производстве и продаже сверхточных компонентов движения, уделяя особое внимание модулям линейных двигателей на основе гранита для мировых полупроводниковых, оптических и аэрокосмических рынков. Обладая более чем 15-летним опытом разработки прецизионных пресс-форм и сверхточных систем перемещения, мы обслуживаем клиентов в высокотехнологичных производственных секторах по всей Европе, Северной Америке, Японии и Корее.

Наши двухосные модули линейных двигателей из мрамора разрабатываются в нашей специализированной научно-исследовательской лаборатории сверхточного движения с использованием передовой обработки гранита (допуск ± 0,001 мм), лазерной калибровки и технологий сборки воздушных подшипников для достижения субмикронной точности. Мы предоставляем комплексные услуги по индивидуальной настройке — от проектирования модулей и прототипирования до калибровки на месте и глобальной технической поддержки — гарантируя, что наши решения соответствуют уникальным требованиям сверхточных производственных линий.

Придерживаясь принципа «Точность на нанометровом уровне, стабильность на всю жизнь», компания Deaote инвестирует 20% годового дохода в исследования и разработки для разработки сверхточных решений движения нового поколения. Наше производственное предприятие, сертифицированное по стандартам ISO 9001:2015 и ISO 10110, а также глобальная сервисная сеть обеспечивают быстрое время реагирования (<48 часов) и местную техническую поддержку, что делает нас надежным партнером для производителей высококачественного сверхточного оборудования по всему миру.